Stożki wiązki jonów

Stożki wiązki jonów SIKAIDA są podstawowymi elementami systemów implantacji i transmisji wiązki jonów. Wykonane z zaawansowanych materiałów ceramicznych o wysokiej czystości i poddane precyzyjnemu formowaniu wtryskowemu oraz spiekaniu w wysokiej temperaturze, charakteryzują się wyjątkowo niską zawartością zanieczyszczeń, odpornością na wysoką temperaturę i stabilną dokładnością wymiarową. Można je obrabiać w skomplikowane geometrie, aby spełnić niezwykle wysokie wymagania dotyczące tolerancji, dzięki czemu nadają się do wysokowydajnych procesów implantacji jonów półprzewodnikowych.

Jako profesjonalny producent w Chinach, SIKAIDA dostarcza niezawodne, ekonomiczne i konfigurowalne stożki wiązki jonów klientom na całym świecie w zakresie półprzewodników, wyświetlaczy płaskich, optyki, systemów mikroelektromechanicznych (MEMS) i pól energii słonecznej. SIKAIDA jest zaufanym, długoterminowym dostawcą i wyspecjalizowanym zakładem produkcyjnym wysokiej klasy komponentów do procesów wykorzystujących wiązkę jonów.

Materiały i produkcja

1. Materiały

Ion Beam Cones wykorzystuje materiały, w tym tlenek glinu (Al₂O₃) o czystości ≥99,9%, azotek krzemu (Si₃N₄) o czystości ≥99,5%, tlenek cyrkonu (ZrO₂) o czystości ≥99,8% i topioną krzemionkę (99,999%). Wszystkie materiały spełniają rygorystyczne normy czystości obowiązujące w przemyśle półprzewodników i są odpowiednie do wymagań wydajnościowych różnych zastosowań.

2. Proces produkcyjny

Proces produkcyjny obejmuje precyzyjne formowanie wtryskowe, spiekanie w wysokiej temperaturze, precyzyjną obróbkę CNC, polerowanie na poziomie lustra oraz automatyczne czyszczenie i testowanie. Każdy proces jest ściśle kontrolowany pod kątem precyzji i jakości, aby zapewnić, że produkt końcowy spełnia standardy branżowe i wymagania klientów.

Kluczowe parametry produktu

1. Dokładność wymiarowa

Stożki wiązek jonowych mają tolerancję kontrolowaną w zakresie ± 0,05 mm, chropowatość powierzchni Ra ≤ 0,4 μm, dokładność stożka wewnętrznego otworu ± 0,02 mm, współosiowość ≤ 0,03 mm i prostopadłość ≤ 0,02 mm. Ta niezwykle wysoka dokładność wymiarowa skutecznie zapewnia precyzję transmisji wiązki jonów.

2. Obróbka powierzchniowa

Obróbka powierzchni obejmuje polerowanie mechaniczne w celu uzyskania lustrzanego wykończenia, powłoki utwardzane promieniami UV w celu poprawy właściwości powierzchni, powłoki odporne na zarysowania w celu poprawy odporności na zużycie oraz trawienie i pasywacja kwasem w celu usunięcia zanieczyszczeń i poprawy stabilności. Odpowiednie metody leczenia można wybrać w oparciu o wymagania aplikacji.

3. Wskaźniki wydajności

Stożki jonowe działają w zakresie temperatur od -196 ℃ do + 800 ℃, zapewniając stabilną pracę w środowiskach o ekstremalnych temperaturach. Posiadają rezystywność skrośną ≥10¹⁴Ω·cm i rezystywność powierzchniową ≥10¹²Ω, wykazując doskonałe właściwości izolacyjne. Posiadają również wyjątkową odporność na korozję plazmową i chemiczną, co pozwala im dostosować się do złożonych środowisk procesowych.

Podstawowe zalety

1. Bardzo wysoka czystość: Czystość surowca przekracza 99,9%, minimalizując zanieczyszczenie płytek półprzewodnikowych, zapewniając stabilną wydajność elektryczną urządzeń i spełniając rygorystyczne wymagania czystości dotyczące produkcji półprzewodników.

2. Niezwykle wysoka dokładność geometryczna: zapewnia spójne wymiary produktu podczas produkcji masowej, z błędem stożka kontrolowanym w zakresie ± 0,05 mm i błędem okrągłości ≤ 0,02 mm, precyzyjnie dopasowując się do wymagań instalacyjnych i użytkowych systemów transmisji wiązki jonów.

3. Jakość powierzchni przypominająca lustro: chropowatość powierzchni Ra≤0,4μm, skutecznie redukująca rozpraszanie wiązki jonów, poprawiająca równomierność transmisji wiązki jonów i dalsza optymalizacja dokładności implantacji urządzeń półprzewodnikowych.

4. Stabilność w szerokim zakresie temperatur: Działa stabilnie w środowiskach od głęboko kriogenicznych do wysokotemperaturowych. Materiał ma wyjątkowo niski współczynnik rozszerzalności cieplnej, zachowując doskonałą stabilność wymiarową nawet przy zmianach temperatury, zapobiegając wpływowi wahań temperatury na wydajność.

5. Doskonała izolacja i odporność na korozję: Skutecznie zapobiega gromadzeniu się ładunku podczas transmisji wiązki jonów i jest odporny na silne kwasy, mocne zasady i różne korozję plazmową, zapewniając długoterminową stabilną pracę w złożonych środowiskach procesowych.

Usługi niestandardowe

Modele i rozmiary produktów można dostosować do różnych wymagań procesu. Obsługiwane formaty rysunków obejmują STP, STEP, IGS, XT, DXF, DWG, PDF i próbki fizyczne. Jeśli chodzi o czas dostawy, dostawa próbki wynosi 4-7 tygodni, a dostawa produktu partiami - 8-12 tygodni. Nasz system jakości jest zgodny ze standardami ISO9001:2015, SGS RoHS, REACH i SEMI, kompleksowo zapewniając jakość produktu i efektywność dostaw.

Obszary zastosowań

Stożki jonowe są szeroko stosowane w wielu dziedzinach, w tym w implantatorach jonów w produkcji półprzewodników, sprzęcie przetwarzającym w wyświetlaczach płaskich, systemach osadzania wiązką jonów (IBD) i trawieniu wiązką jonów (IBE) w produkcji urządzeń optycznych, produkcji systemów mikroelektromechanicznych (MEMS), sprzęcie do domieszkowania jonów do ogniw słonecznych oraz procesach implantacji jonów do urządzeń półprzewodnikowych mocy, takich jak tranzystory bipolarne z izolowaną bramką (IGBT) i tranzystory MOSFET mocy.

Często zadawane pytania:

P1: Jakie materiały są zwykle używane w stożkach wiązki jonów?

A1: Używamy przede wszystkim zaawansowanych materiałów ceramicznych, takich jak tlenek glinu o wysokiej czystości (Al₂O₃), azotek krzemu (Si₃N₄) i tlenek cyrkonu (ZrO₂). Materiały te charakteryzują się wyjątkowo wysoką czystością, doskonałą odpornością na wysokie temperatury i stabilnymi właściwościami elektrycznymi.

P2: Czy UET może zapewnić niestandardowe specyfikacje i obróbkę powierzchni? 

Odpowiedź 2: Tak. UET może dostosować rozmiar, zbieżność, rodzaj materiału i obróbkę powierzchni stożków zgodnie z wymaganiami procesu. Posiadamy bogate doświadczenie produkcyjne i możemy spełnić specyficzne wymagania klientów dotyczące aplikacji.

P3: W jaki sposób gwarantowana jest precyzja i jakość stożków wiązki jonów?

A3: Stosujemy system zarządzania jakością ISO9001:2015 i jesteśmy wyposażeni w precyzyjny sprzęt testujący, w tym współrzędnościową maszynę pomiarową, tester chropowatości powierzchni i spektrometr fluorescencji rentgenowskiej, aby zapewnić, że każda partia produktów spełnia rygorystyczne standardy branżowe.

P4: Jaki jest cykl dostaw?

A4: Cykl dostarczania próbek wynosi 4-7 tygodni, a cykl dostarczania produktów wsadowych wynosi 8-12 tygodni. Konkretny cykl zależy od złożoności produktu i wielkości zamówienia.